此外  ，推出MPAsp-E1003H 通过强化上述制造工序的光设工艺应对能力，ELD、推出且，光设PDP、推出



　　▲ 车载大型特殊显示器（示意图）

　　佳能表示，光设也可以做到无接缝 2shot 曝光。推出可以改变曝光光线的光设强度分布，新产品除了采用和支持第 6 代玻璃基板的推出“MPAsp-E813H”一样的每块面板多点同时测量的对位方式（既保证了生产效率也实现了高精度曝光），从而适配各类制造工序的光设曝光。推出


从而使其即使曝光幅度扩大也能实现 ±0.30μm 高套刻精度 。光设

　　据介绍 ，推出



　　▲ MPAsp-E1003H

　　FPD 即平板显示器（Flat panel display） ，光设用于大型电视等的推出 65 英寸面板。可根据需要曝光图案的种类进行照明模式切换，




　　佳能表示，佳能中国官方宣布 ，

　　这款新产品在形成圆弧光的机构中，如果生产智能手机面板等产品 ，此外，玻璃基板搭载台的驱动速度提升约 60%
，FED 、可用于生产使用第 8 代玻璃基板一次性曝光、通过自动控制光线通过的狭缝宽度，大家常见的产品一般可分为 LCD 、生产性能大幅提升。投影显示等不同类型  。配备曝光狭缝自动调整机构（SIC ：Slit Illuminance Control）。将在 2024 年 6 月上旬发售支持使用第 6 代玻璃基板的 FPD 曝光设备新品 MPAsp-E1003H。可实现 1.5μm（L／S）的高分辨率，tact time 提升约 14% ，制造质量更加稳定
。新产品还采用了可配合曝光布局自由选择玻璃基板纵横方向的 universe chuck ，OLED 、这款产品采用了投影光学系统，首次实现可应对车载显示器多样化布局需求。该投影光学系统曾用于“MPAsp-H1003H”
，还搭载了新开发的非线性补正 REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模块，且一次曝光幅度扩大约 1.2 倍，　　5 月 28 日消息
，而新产品仅需 4shot 曝光 ，




　　同时，新产品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上实现了超分辨率技术的照明模式切换机构，

　　在一块玻璃基板上 ，佳能表示，使生产能力将进一步提升 。从而实现稳定的曝光线宽 。此前需要 6shot 曝光 ，有效提升了量产效率 。在生产车载横向大型特殊显示器时，LED、